A társaság szerint 2002 második félévében mintegy 125 millió euró extra költséget lesz kénytelen elkönyvelni a leépítések miatt. Az indoklás szerint a félvezetőpiac az utóbbi két évben több mint 70 százalékkal csökkent. A létszámcsökkentés fele a két kaliforniai bázis, a Track és a Thermal felszámolásából adódik. A cég még 2001 májusában tett szert rájuk, amikor egybeolvadt a Silicon Valley Grouppal. Az ASML részvénye délig 5,5 százalékot veszített az amszterdami piacon.
